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驅(qū)動(dòng)類型:有鐵芯平板線性馬達(dá) 重復(fù)定位精度:±2μm 主截面最大外形尺寸:135*96體積?。? 剛性高; 負(fù)載大; 適合空間小負(fù)載大的工況條件。
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